INLINE LDI-E15設(shè)備特點(diǎn)及優(yōu)勢★精細(xì)線路加工專門機(jī)型，最小解析能力可達(dá)15/15μm，滿足mSAP工藝需求★搭配自主的超級(jí)算法的DMD控制系統(tǒng)，成就高解析度高效率加工★曝光工序全數(shù)字化作業(yè)，跨入工業(yè)4.0智能制造
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